電子廠無塵車間內防靜電要求-江蘇凈化工程公司
一、 靜電防護的基本原則
a、 抑制靜電荷的積聚;
b、 迅速、安全、有效地消除已經產生的靜電荷。
二、 防靜電工作區場地
1 、電子凈化車間地面材料
a、 禁止直接使用木質地板或鋪設毛、麻、化纖地毯及普通地板革。
b、 應該選用由靜電導體材料構成的地面,如防靜電活動地板或在普通地面上鋪設防靜電地墊,并有效接地。
c、 允許使用經特殊處理過的水磨石地面,如事先敷設地線網、滲碳或在地面噴涂抗靜電劑等。
2 、 接地
a、 防靜電系統必須有獨立可靠的接地裝置,接地電阻一般應小于10Ω,埋設與檢測方法可參考 GBJ97的要求。
b、 防靜電地線不得接在電源零線上,不得與防雷地線共用。
c、 使用三相五線制供電,其大地線可以作為防靜電地線(但零線、地線不得混接)。
d、 接地主干線截面積應不小于100mm2;支干線截面積應不小于6mm2;設備和工作臺的接地線應采用截面積不小于1.25mm2 的多股敷塑導線,接地線顏色以黃綠色線為宜。
e、 接地主干線的連接方式應采用釬焊。
f、 無塵車間防靜電設備連接端子應確保接觸可靠,易裝拆,允許使用各種夾式連接器,
3 、 天花板材料
天花板材料應選用抗靜電型材料制品,一般情況下允許使用石膏板制品,禁止使用普通塑料制品。
4 、 墻壁面料
墻壁面料應使用抗靜電型墻紙,一般情況下允許使用石膏涂料或石灰涂料墻面,禁止使用普通墻紙及塑料墻紙。
5 、 濕度控制
a、 在不對產品造成有害影響前提下,允許使用增濕設備噴灑制劑或水
a、 進入防靜電工作區或接觸SSD的人員應穿防靜電工作服,防靜電工作服面料應符合GB12014規定。
5、 防靜電工作鞋
進入防靜電工作區或接觸SSD的人員應穿防靜電工作鞋,防靜電工作鞋應符合GB4385 的有關規定。一般情況下允許穿普通鞋,但應同時使用導電鞋束或腳跟帶。
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